In kdschneider/tpt-goldbonder: Prozessoptimierung am tpt-Goldbonder

Datenblätter:

• CSAR 62
• AR 600-546
• AR 600-71

Reinigung {-}

Waschen

| | | |-----------|-------------------------------------| | Schritt 1 | 30 s Aceton in Ultraschallbad | | Schritt 2 | In Aceton schwenken | | Schritt 3 | In Isopropanol schwenken | | Schritt 4 | Mit Stickstoff trocknen |

Plasmaverascher (alt)

| Leistung | Dauer | |-----------|-------------| | 57% | 5 Minuten |

Spin-Coating {-}

Parameter

| Schritt | RPM | Ramp | Dauer | Tropfen | |:---------:|------|------|-------|---------| | 1 | -/- | -/- | -/- | 1-2 | | 2 | 4000 | 800 | 5 | -/- | | 3 | 4000 | -/- | 20 | 1-2 | | 4 | 6000 | 800 | 30 | -/- |

Soft-Bake (Hot-Plate)

| Temperatur | Dauer | |:-------------:|:-----:| | 150 °C | 60s |

E-Lithographie (LeoREM) {-}

Dosis

Ab einer Dosis von ca. 50 μC/cm^2^ führt bei dünner Beschichtung eine Erhöhung der Dosis zu keinem feststellbraren Unterschied. Das Datenblatt empfiehlt 65 μC/cm^2^.

Entwickeln

| | | |-----------|-------------------------------------------------------| | Schritt 1 | 60s in Entwickler (AR 600-546) | | Schritt 2 | 60s in Isopropanol schwenken | | Schritt 3 | Mit Isopropanol spülen und mit Stickstoff trocknen |

Lift-Off {-}

| | | |-----------|-------------------------------------------------| | Schritt 1 | 10 min in Remover (AR 600-71, Raumtemperatur) | | Schritt 2 | Lift-Off | | Schritt 3 | Mit Isopropanol spülen |

kdschneider/tpt-goldbonder documentation built on Feb. 5, 2022, 5:24 p.m.